高纯气体系统用“ ”形吹洗组件(UsedinHighPurityGasSystem"Cross"PurgeAssembly) 气体工业名词术语。是一种包括三个阀门和一根进气管接头的吹气集管结构。
安装在钢瓶和减压器之间。三个阀门中一个是减压器隔离阀,一个是高压旁泄阀和一个吹洗气体进口阀。在各部分之间交叉管道的内部通路呈“ ”形。316不锈钢焊接结构,高纯无填料膜片阀,在组装前采用超声波洁净处理,在100级洁净室中组装和包装。在更换钢瓶时可消除污染,防止有毒气体外漏以及由于空气中的水分进入系统而导致的腐蚀作用。2100433B