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超高纯硅酸制备及控制系统主要功能

2022/07/15138 作者：佚名
导读：该装备采取多级自动化的树脂交换，实现集成电路所需的PPM量级超高纯硅酸的制备，为了保证制备硅酸批次的重复性与稳定性，以及降低交换、再生、冲洗过程的纯水及酸的用量，采用电导率与pH计在线自动检测与信息反馈，促使流量计和变频泵自动调节，实现工艺过程的自动控制。 2100433B

该装备采取多级自动化的树脂交换，实现集成电路所需的PPM量级超高纯硅酸的制备，为了保证制备硅酸批次的重复性与稳定性，以及降低交换、再生、冲洗过程的纯水及酸的用量，采用电导率与pH计在线自动检测与信息反馈，促使流量计和变频泵自动调节，实现工艺过程的自动控制。 2100433B

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