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线宽偏差

2022/07/1575 作者:佚名
导读:线宽偏差,光刻工艺术语,是指一个掩模上所有的关键图形处的线宽通常比另一个掩模的对应线宽相差的固定值。
线宽偏差,光刻工艺术语,是指一个掩模上所有的关键图形处的线宽通常比另一个掩模的对应线宽相差的固定值。
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