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在集成电路领域,特征尺寸是指半导体器件中的最小尺寸。人们在谈及CPU的更新换代时,经常会说到类似的话:这款CPU采用了28 nm工艺,跟上一代采用40 nm工艺的同系列芯片相比,性能提升了多少、功耗下降了多少。这里说到的40 nm、28 nm就是集成电路的特征尺寸。一般来说,特征尺寸越小,芯片的集成度越高,性能越好,功耗越低。