光学厚度的由来：在制备薄膜的过程中，除了应当选择合适的薄膜材料和沉积工艺外，还要精确控制薄膜沉积过程中的厚度。
厚度的概念有三种：几何厚度、光学厚度和质量厚度。几何厚度表示的是薄膜膜层的物理厚度或者实际厚度；几何厚度与薄膜膜层折射率的乘积称为光学厚度；质量厚度的定义是单位面积上的质量，若已知薄膜膜层的密度，则可以换算成相应的几何厚度。
一般情况下，薄膜厚度的误差控制在2%以内，有时可能达5～10%。薄膜厚度的监控必须在允许的误差范围之内。
薄膜的光学厚度与物理厚度换算关系为：光学厚度=物理厚度*nn为介质折射率（光从介质1射入介质2发生折射时，入射角与折射角的正弦之比叫做介质2相对介质1的折射率）。
