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白光扫描干涉轮廓仪技术指标

2022/07/1587 作者：佚名
导读：垂直分辨率（纵向） ＜0.1 nm Z轴调整≤350mm 精度0.11μm RMS重复精度 ≤0.01 nm RMS 垂直扫描范围 150μm 测量时间 5～20s 扫描速度 ≤135μm/s 采样数据点640×480点/次采集 台阶测量准确度 ≤0.75% 台阶测量重复率 ≤0.1%, 最大可拼接直径 ≤φ50 mm 物镜 2.5倍 20倍 目镜 0.5倍， 1倍，2倍。

垂直分辨率（纵向） ＜0.1 nm Z轴调整≤350mm 精度0.11μm RMS重复精度 ≤0.01 nm RMS 垂直扫描范围 150μm 测量时间 5～20s 扫描速度 ≤135μm/s 采样数据点640×480点/次采集 台阶测量准确度 ≤0.75% 台阶测量重复率 ≤0.1%, 最大可拼接直径 ≤φ50 mm 物镜 2.5倍 20倍 目镜 0.5倍， 1倍，2倍。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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