通过研究，我们成功建立了反映太赫兹波段（0.1-10THz）波导滤波器和微屏蔽线移相器的电气特性等效电路模型；针对MEMS微加工方法、器件封装等实验特征影响THz无源器件性能的规律，建立了较为系统的设计优化理论；加工获取了140GHz波导滤波器及240、300GHz双通带滤波器的加工样品，得到了工艺难度低、性能优异的设计方案、微加工流程和器件封装方法；同时研究人员根据研究成果撰写了两份研究报告《亚毫米波段（0.1-1THz）MEMS器件的等效电路模型及其参数提取》、《MEMS微加工方法和器件封装等试验特征对器件的影响规律》。 国内外核心期刊上发表论文16篇； 参加国内外学术交流7次，邀请国外专家讲学3次； 联合培养参研青年2名； 培养博士研究生3名，硕士研究生10名。
