1839年法国采用了由砖、金属弧板等组成的沉井施工、后来又将沉井上部封闭，使之形成一个沉箱，在其中充满压气。用压气挤走地下水，使掘进工作在压气下进行，顺利地掘进到预定深处。故又称为压气沉箱法。此种压气沉箱法先后在欧洲许多国家应用，但由于它有损于在压气下工作人员的健康，且沉箱下沉困难，现已很少采用，

1943年日本开始使用淹没沉井法。用泥浆的压力来抵抗地下水向掘进工作面涌人，同时在沉井璧外侧加设压气质嘴喷气，以减少井壁下沉的阻力，加深了沉井下沉的深度。

1956年德国成功地使用沉井壁后充填泥浆和井内用泥浆淹没的沉井法口挖土和出土全部由水下挖掘机来完成。

1958年中国把震动技术应用于沉井法。利用震动作用减小了沉井下沉的阻力，加大了沉井下沉的深度，故称为震动沉井法。

各种沉井法的共同特点是，沉井壁下沉超前于掘进工作面，超前段井壁的作用是防止掘进过程中围岩失稳和涌水，而不是改变围岩的物理力学性质。这种方法是由板桩法发展成的。为加大下沉深度和速度，已采取淹没沉井泥浆减阻、机械破土和压气排碴等综合措施，已形成一套较为完善的沉并法施工技术 。