从机械上讲，坐标测量机（三次元）的优点有：

1、科技进步的关键－－坐标测量机因为科学技术的进步，使得坐标测量机实用化，并具备多种测量功能。

气浮轴承，各坐标轴移动面使用气浮轴承，使得测头移动顺畅，可以很精确得移动测头；

光学线性尺，配合安装于机器坐标系上的三线光学线性尺，可以很精确得获得坐标测量值；

电脑设备，坐标测量机采用计算法获得测量结果，数据处理机及所具备的测量软体，增加了坐标测量机功能。

2、坐标测量机的优点如下：

A、探测头可以在空间沿X、Y、Z三个轴向移动，其们置以直角标或极坐标表示。

B、工件立方体的五个面皆可测量，无需变换工件位置，若加装适当夹具及特殊测头，第六面亦可测量。

C、坐标测量机的操作和测量工作，不需要特殊的技术即可胜任

D、可以在任何的位置，设定工作坐标系原点，并且以间接主算法计算出测量结果，增加测量的功能与使用弹性。

E、以电脑数据处理机，快速准确的计算出测量值，配合教导程式使坐标测量机的测理工作自动化。

F、取代传统测量方式，提高检验准确度，并且对于高精度产品，可以百分之百检验。

G、复杂的工件与测量困难度高的工件，皆可以作精确的测量。

H、大幅减小检验时间、检验费用、检验人力，增加测量效率。