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传感器原理及其应用 Sensor principle and its application内容简介

2022/07/16129 作者：佚名
导读：本书系统阐述了磁敏感元器件和磁传感器、压电式传感器、压阻式传感器等物理传感器结构、工作原理和特性，介绍了硅各向异性腐蚀技术、传感器集成化及传感器CAD等传感器技术。

本书系统阐述了磁敏感元器件和磁传感器、压电式传感器、压阻式传感器等物理传感器结构、工作原理和特性，介绍了硅各向异性腐蚀技术、传感器集成化及传感器CAD等传感器技术。

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