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低温等离子体输运过程及其气相沉积的机理研究基本信息

2022/07/16153 作者：佚名
导读：批准号 19275016 项目名称 低温等离子体输运过程及其气相沉积的机理研究 项目类别 面上项目 申请代码 A2702 项目负责人 刘祖黎 负责人职称 教授 依托单位 华中科技大学 研究期限 1993-01-01 至 1995-12-31 支持经费 4（万元）

批准号

19275016

项目名称

低温等离子体输运过程及其气相沉积的机理研究

项目类别

面上项目

申请代码

A2702

项目负责人

刘祖黎

负责人职称

教授

依托单位

华中科技大学

研究期限

1993-01-01 至 1995-12-31

支持经费

4（万元）

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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