本发明公开了充电式半永久静电吸附装置，该装置主要由线路层、绝缘层、粘结层以及基板组成，所述线路层的内部设有梳齿型线路，所述梳齿型线路的端部分别设有一个供电触点，所述绝缘层贴在线路层的两面，并且绝缘层与线路层通过粘结层粘结在基板上。本发明所述的充电式半永久静电吸附装置，属于自动化生产夹具领域，是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物，适用于大气、真空及等离子体环境，主要作用是吸附各种导体、半导体、绝缘体，并使吸附物保持较好的平坦度，静电吸附在吸附过程中，对被吸附物无任何夹持或吸附应力，静电吸附力均匀，相较机械卡盘和真空吸盘，不会造成被吸附物(特别是一些超薄或脆弱的物体)任何外力损伤。 2100433B
