非蒸散型吸气剂（NEG）可以吸收超高真空下的大部分气体，将其镀在真空室内壁后形成NEG薄膜，可使真空室由放气源变为具有抽起作用的真空泵。NEG薄膜可以有效减小加速器储存环内的动态气载，降低其纵向气压梯度，因而在国外粒子加速器领域已获得较多的应用。TiZrV合金是迄今所发现的具有最低激活温度的NEG材料，因而成为目前最为常用的NEG薄膜材料。在TiZrV表面镀上一层Pd可以使NEG表面免于氧化，并使其寿命大大延长。 本课题通过对原有磁控溅射镀膜系统进行若干改进，对TiZiV/Pd复合薄膜的制备工艺进行系统的研究，通过调整镀膜参数可以获得满足要求的薄膜。采用扫描电子显微镜、X射线光电子能谱和X射线衍射仪等对TiZrV薄膜进行了相关的分析测试。搭建了一套新的二次电子测试装置，采用成熟的商用电子枪，发射电流可控制在nA量级，测量的准确度和稳定性都有所提高，采用此装置对TiZrV/Pd薄膜的SEY进行了测量。搭建了一套抽速测量系统，对TiZrV/Pd的测量正在进行当中。另外，采用PIC/MCC软件OOPIC对管道内的磁控溅射放电过程进行了模拟，研究了各参量对模拟过程的影响及放电参数对放电过程的影响。 通过本课题，掌握了加速器管道内壁镀TiZrV/Pd复合薄膜的制备工艺，积累了一定的工程经验。此项研究成果不仅在加速器真空室的表面处理领域，在真空获得设备和微电子等领域都具有广阔的应用前景。 2100433B