半导体芯片漏电测试器技术指标

2022/07/1684 作者：佚名

导读：探测头: 具背面光发射分析能力的这里需要InGaAs的camera; 波长响应范围:700nm to 1800nm; 分辨率最低要求:512 x 512. 显微镜: 专用于光发射显微镜设备的NIR 显微镜; 物镜序列，2.5X，5X，20X，100X NIR lens,物镜需电动控制. 8英寸探针台: 6个探针座（4个大的 2个小的）磁吸附,移动精度≤0.7um。

探测头: 具背面光发射分析能力的这里需要InGaAs的camera; 波长响应范围:700nm to 1800nm; 分辨率最低要求:512 x 512. 显微镜: 专用于光发射显微镜设备的NIR 显微镜; 物镜序列，2.5X，5X，20X，100X NIR lens,物镜需电动控制. 8英寸探针台: 6个探针座（4个大的 2个小的）磁吸附,移动精度≤0.7um。