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光发射显微镜主要利用红外线侦测器,通过红外显微镜探测到这些释放出来的红外线,从而精准的定位到器件的漏电点,一般侦测能力达到微安级。该系统拥有高灵敏度的侦测能力,可侦测到半导体组件中电子-电洞对再结合时所发射出来的微弱光线和电子经过电场加速撞击时所释放的微弱光线,在半导体的故障分析中,可以用来侦测集成电路中各种组件缺陷所产生的漏电流.。 2100433B