甲烷是造成全球变暖的第二大温室气体，2007年以来大气层中的甲烷水平急剧上升，在未来几年中需要密切监测大气层中的甲烷水平；另外煤矿瓦斯爆炸事件也是屡有发生，这也对甲烷传感器有着强烈的需求。目前大量使用的半导体传感器以及光纤传感器还不能完全满足检测要求。因此，本项目提出一种基于声表面波器件的双层膜结构传感器，根据对声表面波结构的质量沉积效应以及电导率变化效应的研究，分析双层膜结构参数对声表面波传输特性以及气体分子吸附脱附特性的影响，选择包括金属、有机半导体等不同类型的双层膜材料，调整不同的工艺参数，探索敏感材料微小的电导率变化即引起声表面波器件显著波速变化的工作点。这种利用SAW器件与双层膜结构相结合的传感器结构，对促进常温下有毒有害气体的检测研究提供了一个新的思路。
