甲烷在自然界分布广泛，是造成全球变暖的第二大温室气体。此外，甲烷还是煤矿瓦斯的主要成分，瓦斯爆炸事故是威胁矿工生命和国家财产安全的“第一杀手”。研制在常温下能够工作的低成本甲烷传感器，对人类生存环境以及国计民生都具有十分重大的意义。在众多的小型化气体传感器中，声表面波气体传感器的灵敏度高、体积小、与半导体工艺兼容、价格低、功耗小、便于遥测，是近年来气体传感器的后起之秀。本项目拟采用双层膜结构与SAW传感器相结合，来解决SAW气体传感器用于甲烷检测的灵敏度问题。在实际实验当中，由于甲烷气体的化学惰性，用甲醛作为检测对象来研究和验证双层膜结构SAW气体传感器的敏感机制。单层的多壁碳纳米管材料（MWCNTs）作为敏感材料的SAW传感器对甲醛响应微弱，MWCNTs的金属特性会导致单层MWCNTs和工作电极之间形成回路，只能检测响应较小的质量沉积效应。而双层膜结构能使SAW传感器工作在强声电效应区域，并不是单纯的质量沉积效应和电导率变化的简单加和，在电导率高灵敏度区域，微小的电导率变化就能引起显著的波速变化，从而引起响应频率的急剧增加。本项目发表相关学术论文16篇，授权专利1项，为SAW传感器在有毒有害气体方面的检测提供了良好的发展思路。 2100433B