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双频激光干涉测量系统技术指标

2022/07/16255 作者：佚名
导读：量程：1mm~10mm，分辨率：0.15nm，3轴同步测量，测量精度：优于10nm。

量程：1mm~10mm，分辨率：0.15nm，3轴同步测量，测量精度：优于10nm。

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