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可拆卸式真空灭弧室电弧特性及机械特性测试平台技术指标

2022/07/16138 作者:佚名
导读:工作真空度2*10(-5)pa,电压380±10%V,分子泵转速21000rpm;溅射离子泵启动压强5*10(-4)pa,输出行程0-80mm,绝缘等级40.5kV。

工作真空度2*10(-5)pa,电压380±10%V,分子泵转速21000rpm;溅射离子泵启动压强5*10(-4)pa,输出行程0-80mm,绝缘等级40.5kV。

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