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(1)直接氟化
(2)金属氟化物或氟化氢气体氟化
SbF3、AgF2、CoF3等金属氟化物与烃反应制备氟化烃;
氟化氢气体与氢氧化铝反应制备氟化铝等。
(3)置换氟化
三氯甲烷氟化制备二氟一氯甲烷;
2,4,5,6-四氯嘧啶与氟化钠制备2,4,6-三氟-5-氟嘧啶等。
(4)其他氟化物的制备
浓硫酸与氟化钙(萤石)制备无水氟化氢等。