微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南 无论你是正在学习初级MEMS课程的学生，还是想要在MEMS设计上进步飞速的设计师，这些实用指导都可以提供开展MEMS器件设计、制造和测试所需要的实操经验。你可以了解到如何使用代工厂多工程制造工艺进行低成本MEMS工程设计，以及如何使用计算机辅助设计工具（布局、建模）进行MEMS器件的设计。

在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学、热学和流体学等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了 MEMS设计的实践和挑战，并提供了相关的解决方案。 Joel A. Kubby是加州大学圣克鲁兹分校巴斯金工程学院的电子工程教授。此前，他曾经是施乐威尔逊研发中心的区域经理，也是纽约韦伯斯特的技术人员之一。他曾经带领一个由6 个企业联合而成的工业研究组织进行光学MEMS的新工艺开发，该项目属于国家标准和技术研究所的高端技术计划（ATP），Joel A. Kubby本人拥有超过80项专利。