第1章引言1

1.1MEMS制造概述1

1.2共享晶圆工艺5

1.2.1多项目晶圆工艺5

1.3设计规则18

1.4版图20

参考文献27

第2章微观力学30

2.1弹簧30

2.1.1并联弹簧32

2.1.2串联弹簧32

2.2屈曲33

2.3泊松比33

2.4切向应力和切向应变张量35

2.5其他梁36

2.6扭转38

2.7薄膜39

2.8测试结构40

2.9阻尼42

2.10加速度计43

2.10.1悬臂梁44

2.10.2碰撞传感器44

2.11压力传感器46

参考文献51

第3章静电驱动52

3.1机械回复力55

3.2梳状驱动谐振器583.3悬臂梁谐振器60

3.4双端固支梁谐振器60

参考文献64

第4章光学MEMS66

4.1反射悬臂梁光调制器66

4.2单轴扭转镜68

4.3双轴扭转镜：朗讯路由光电转换器72

4.4PolyMUMPs工艺中的法布里—珀罗干涉仪77

4.5获取平整光学MEMS器件82

参考文献85

第5章热学MEMS87

5.1驱动器90

5.2冷臂—热臂式热驱动器91

5.3热压电双晶片96

5.4辐射热计98

5.5热喷墨打印机100

5.6热损伤限制热驱动MEMS100

参考文献102

第6章流体MEMS103

6.1运动方程103

6.2微流体103

6.2.1雷诺数106

6.2.2表面张力107

6.2.3接触角度108

6.2.4毛细上升109

6.3喷墨打印110

参考文献115

第7章封装和测试116

7.1发布116

7.2测试设备117

7.3机械测试118

7.4电气测试119

7.5光学特性120

参考文献122

第8章从原型到产品：MEMS——自适应光学可变形反射镜123

参考文献133

微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南135"

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