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建设工程知识

微机电系统(MEMS)原理、设计和分析作者简介

2022/07/16207 作者：佚名
导读：田文超，男，1968年出生，博士后，副教授，现在西安电子科技大学机电工程学院从事教学与科研工作。主要研究方向为微传感器和微执行器设计仿真、MEMS表面和界面分析以及电子封装技术。先后主持或参与10项国家及省部级项目，发表学术论文55篇，其中23篇被三大检索（SCl、El和ISTP）收录。　记者对象：本科生、研究生、相关工程技术人员及科技管理人员参考使用。2100433B

田文超，男，1968年出生，博士后，副教授，现在西安电子科技大学机电工程学院从事教学与科研工作。主要研究方向为微传感器和微执行器设计仿真、MEMS表面和界面分析以及电子封装技术。先后主持或参与10项国家及省部级项目，发表学术论文55篇，其中23篇被三大检索（SCl、El和ISTP）收录。　记者对象：本科生、研究生、相关工程技术人员及科技管理人员参考使用。2100433B

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