l 总则
2 术语
3 基本规定
3.1 施工条件
3.2 施工准备
3.3 定位放线
3.4 设置特殊基础
3.5 壁板开洞
3.6 室外搬运
3.7 设备开箱及吊装
3.8 室内搬运
3.9 设备安装就位
3.10 二次配管配线
3.11 二次配管压力试验
4 单机调试及试运转
5 工程验收
5.1 一般规定
5.2 交接验收
5.3 竣工验收
5.4 验收不合格处置
附录A 设备安装技术参数
附录B 微电子生产设备安装工艺流程
附录C 人员进出洁净区流程
附录D 工程质量验收记录用表
附录E 典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例
本规范用词说明
附：条文说明
