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一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法专利背景

2022/07/16162 作者:佚名
导读:蓝宝石是光电产业极为重要的基础材料,广泛应用于微电子,光电子,光通讯,激光及国防军事等总多领域。蓝宝石晶体又是半导体LED照明最重要的产业化衬底。 LED是一种固态照明光源,它的原理是将电能转化为光能。LED具有寿命长、控制方便、高效能等优点,属于典型的绿色能源。但是在2017年7月之前的GaN-LED结构中,从有源层发射出来的光经过LED内部全反射、吸收等损耗,最终从LED表面逸出的光不足5%,

蓝宝石是光电产业极为重要的基础材料,广泛应用于微电子,光电子,光通讯,激光及国防军事等总多领域。蓝宝石晶体又是半导体LED照明最重要的产业化衬底。

LED是一种固态照明光源,它的原理是将电能转化为光能。LED具有寿命长、控制方便、高效能等优点,属于典型的绿色能源。但是在2017年7月之前的GaN-LED结构中,从有源层发射出来的光经过LED内部全反射、吸收等损耗,最终从LED表面逸出的光不足5%,提高LED的出光效率成了众多学者的研究课题。PSS(Patterned Sapphire Substrate),是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜,用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形,利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石,并去掉掩膜,再在其上生长GaN材料,使GaN材料的纵向外延变为横向外延。图形化蓝宝石衬底可以增加LED的光输出功率及发光效率。由于GaN材料折射率高于蓝宝石衬底以及外部封装树脂,有源区产生的光子在GaN层上下两个界面处发生多次全反射,降低了器件的光提取效率,图形化蓝宝石衬底还可以增大GaN/蓝宝石界面面积,同时在界面处可以形成漫反射,使得原来形成全反射的光子有几率射到器件外,从而提高LED的出光效率。

截至2017年7月,已有的衬底图形化技术一般都需要较高的成本:涂覆纳米球干法刻蚀技术需要高精度的薄膜涂布设备,设备投资成本高,纳米球本身的原材料价格也较昂贵。而且刻蚀后的图形均为边缘较为平滑凹凸柱状图形,经过外延封装制成的LED的亮度提高不明显,不能满足人们对高亮度LED的需求。

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