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批准号
60076002
项目名称
半导体材料表面超精细抛光新技术研究
项目类别
面上项目
申请代码
F0401
项目负责人
孙建军
负责人职称
教授
依托单位
厦门大学
研究期限
2001-01-01 至 2003-12-31
支持经费
17(万元)