开发一种利用压电振子激励系统共振而形成隔膜大幅振动、进而驱动气体流动的压电隔膜泵，研究其基本理论与构成方法，探明压电振子、隔膜、质量块、弹性支撑片以及阀等各固体构件的动力学关系，揭示气-固耦合作用机理及换能过程的基本规律，解决系统共振稳定与持久维持等关键技术问题，开发出具有使用价值的压电隔膜泵样机，从理论与试验两方面说明以共振方式构造压电型气体隔膜泵是可行的。由于在共振状态下工作，且压电振子仅提供振动激励而不直接作用于气体，也不使用电机与凸轮，因而兼具压电泵与电磁隔膜泵的优点。由本项目首先提出，已开始基础研究，目前国内外均未见有相同方式隔膜泵的研究报道。
