环境检测需要高质量的传感器, 本项目主要研究了一种基于光斑位置敏感的风速传感器系统。项目首先对光斑位置敏感器件开展了研究，首次提出了一种基于雪崩击穿原理的光斑位置敏感器件。从工作原理、结构尺寸和工艺方法等方面进行了探索；其次又创新性地提出了一种薄膜型光斑位置敏感结构，采用有限元方法对传感器进行了建模分析并进行了传感器的结构优化设计和工艺设计，针对关键光敏材料CdS开展了工艺生长研究。实验测试了研制的传感器样品。在风速系统研究方面，利用光斑位置敏感器件开展了风速传感器的实验研究，利用弹性力学和流体理论分析了机械竿在流场中的受力和变形情况并进行了标准化设计与标准封装后的测试。为后续传感器的产业化推进奠定了基础。
