感应耦合等离子刻蚀系统技术指标

2022/07/16180 作者：佚名

导读：六路带MFC（非腐蚀性气体）和截止阀的气路Ar,，O2（大流量）, CF4,，N2， SF6，O2（小流量），二路带MFC和旁路设计：CH4，H2 四路带MFC、旁路设计（腐蚀性气体）和截止阀的气路推荐气体：Cl2，SiCl4，BCl3，HBr。

六路带MFC（非腐蚀性气体）和截止阀的气路Ar,，O2（大流量）, CF4,，N2， SF6，O2（小流量），二路带MFC和旁路设计：CH4，H2 四路带MFC、旁路设计（腐蚀性气体）和截止阀的气路推荐气体：Cl2，SiCl4，BCl3，HBr。