互补性氧化金属半导体CMOS（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）和CCD一样同为在扫描仪中可记录光线变化的半导体。目前CMOS感光器件主要应用于少数名片扫描仪和文件扫描仪。CMOS的制造技术和一般计算机芯片没什么差别，主要是利用硅和锗这两种元素所做成的半导体，使其在CMOS上共存着带N（带–电） 和 P（带 电）级的半导体，这两个互补效应所产生的电流即可被处理芯片纪录和解读成影像。然而，CMOS的缺点就是太容易出现杂点, 这主要是因为早期的设计使CMOS在处理快速变化的影像时，由于电流变化过于频繁而会产生过热的现象。

出现转机是在1998年，当时国际扫描仪市场的竞争非常激烈，各大厂家都使出了降价的法宝，造成了扫描仪生产厂商的行业性亏损。一些厂家开始重新搬出接触式感光器件，经过改进，使其分辨率达到了600 dpi，然后冠以CIS技术名称，以新技术的面目推向市场，居然取得了相当的成功。不过就性能而言，接触式感光器件存在着严重的先天不足，首先由于不能使用镜头，只能贴近稿件扫描，其实清晰度远远达不到标称的批标，同时硫化镉光敏电阻本身漏电很大，各感光单元之间干扰严重，进一步降低了清晰度，而且由于无法实现同时制造三条平行的感光单元同时实现三色扫描，接触式感光器件不能使用常用的冷阴极灯管，而不得不使用发光二极管（LED）阵列作为光源，这种光源无论在光色还是在光线的均匀度上都是比较差的。而且由于LED阵列是由数百个发光二极管组成，一旦有一个损坏就意味着整个阵列的报废，这种产品的寿命比较短，该类感光器件的温度系数很大，，周围环境温度的变化将对扫描仪的扫描结果产生很大影响，因此，你要想获得一个稳定的扫描结果，最好在一个温度恒定的房间内工作。