本项目主要从事两方面工作： I．研制新型压电薄膜：1.研制纳米柱薄膜，提高薄膜的声学及传感性能；2. 改进薄膜晶体结构，使薄膜换能效率提高，且是损耗减小；3. 从材料科学角度设计新型薄膜组份，并在压电薄膜材料中掺入不同元素以提高其性能。 II．研制高灵敏声波传感器： 1. 选择适当导波层和敏感层材料，并优化沉积技术，以求达到高灵敏地反映被检测物质对声传播的影响，提高灵敏度；2. 研制不同模式的声波传感器，开拓传感器在不同领域的应用；3. 建立声波在多层材料中传播的理论模型，为具体设计和优化表面声波传感器提供理论指导和依据。
