焚烧尾气中粉尘的主要成分为惰性无机物，其含量在450～225500mg/m之间，视运转条件、废物种类及焚烧炉型式而异。一般来说，固体废物中灰分含量高时，所产生的粉尘最多，颗粒的大小范围也大，液体焚烧炉产生的粉尘较少。粉尘颗粒的直径有的大至100pm以上，也有小至1μm以下，由于送至焚烧炉的废物来自不同的产业，焚烧尾气所带走的粉尘及雾滴特性和一般工业尾气类似。

选择除尘设备时，应先考虑粉尘负荷、粉径大小、处理量及容许排放浓度等因素，若有必要则再进一步深入了解粉尘的特性（如粒径尺寸分布、平均与最大浓度、真密度、黏度、湿度、电阻系数、磨蚀性、磨损性、易碎性、毒性、可溶性及爆炸限制等），以及废气的特性（如压力损失、温度、湿度及其他成分等），以便作出合适的选择。

除尘设备的种类主要包括重力沉降室、旋风（离心）除尘器、喷淋塔、文丘里洗涤器、静电除尘器及布袋除尘器等。重力沉降室、旋风除尘器和喷淋塔等无法有效去除5～10μm的粉尘，只能视为除尘的前处理设备。静电除尘器、文丘里洗涤器及布袋除尘器等为固体废物焚烧系统中最主要的除尘设备。液体焚烧炉尾气中粉尘含量低，设计时不必考虑专门的去除粉尘设备。急冷用的喷淋塔及去除酸气的填料吸收塔的组合足以将粉尘含量隆到许可范围内。