高温合金或高温防护涂层的抗氧化性能依赖于表面能否形成一层致密、完整的氧化膜。 氧化膜内应力是决定氧化膜完整性的重要因素。这是因为氧化膜内普遍存在的应力，往往导致氧化膜发生开裂和剥落，致使氧化膜丧失保护作用。通过对氧化膜应力的研究，可以了解氧化膜破裂机理，进而达到改善氧化膜抗剥落性从而提高金属材料或防护涂层的抗氧化性能的目的。

氧化膜应力的精确测量是氧化膜应力研究的基础。已经发展了多种氧化膜应力原位测量技术。由于氧化膜较薄，氧化膜与基体金属构成一动态复合体系以及环境温度高等特点，氧化膜应力的测试技术与常规薄膜的不同。从四十年代开始对氧化膜应力进行定量测量，由于技术的限制，测试范围和精度一直达不到像薄膜残余应力测量的程度。但是，近年来随着新技术的应用和研究的深入，在氧化膜应力方面才取得了明显进展。尽管如此，对氧化膜应力的研究工作还远远不够，许多问题亟待进一步澄清。

总结了氧化膜应力产生和释放机制，氧化膜应力原位测量技术以及稀土对氧化膜应力影响等方面的研究进展，以探求氧化膜应力研究的发展方向 。