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制备方法可分为两种：
(1)氰烷基的引入可以把甲基二氯硅烷与不饱和的含氰化合物进行加成反应，那样使硅烷的氢在烯腈上加成而实现。
选择适当的催化剂和反应条件，可以制成很多特殊的异构体，氰烷基氯硅烷单独水解或与其他有机氯硅烷其水解制成部分缩聚的硅氧烷聚合物，进一步缩聚而成氰烷基硅橡胶。调节分子量大小、氰烷基的结构以及其聚合物中氰烷基硅组份的浓度，可以制成一系列由自由流动的液体一直到粘稠的胶体的氰烷基硅共聚物。
(2)将烷基先行氯化，随后制备格林那试剂和氰化。此法操作麻烦，所以一般多采用前法。
