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1.扫描频率为6MHz,且6MHz都可用于像素的自由选址。 2.曝光光刻胶实际最小线宽低于50nm。 3.设定写场范围:0.5μm*0.5μm-2mm*2mm,设计尺寸超出可写场范围时可以完成图像拼。