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真空过滤法(vacuum filtration proeess)利用大气与真空的压差作用使废水污泥进行脱水处理的一种方法。一般采用的真空过滤机是在回转圆筒表而致以滤布，衙内设置放射扇形隔间，操作回转阀使每个隔间加压或减压交互作业。减压时进行污泥脱水，滤布上生成泥饼，加压时分离滤布上附着的泥饼及污物。圆筒周边的1/4淹没在污泥中，附着的污泥随圆筒回转顺次进行脱水、清洗和去除泥饼。过滤机的真空值一般为46.7～66.7KPa，多用于城市污水污泥与工业废水污泥的机械脱水处理。
