造价通
反馈
取消

热门搜词

造价通
取消 发送 反馈意见

建设工程知识

等离子体增强化学气相沉积系统技术指标

2022/07/16174 作者：佚名
导读：（1） 极限真空为3×10-4 Pa;在真空室下方设一个气体截流阀，截流阀连续可调，控制反应室的工作气压。衬底可升降200mm，衬底旋转，转速为30～60转/分;基片加热为700±1℃; （2） 喷淋头分为三层结构，上部水冷，喷口处要求绝缘;Zn源管可拆卸，便于清洗， Zn源管与O源孔位的加工，必须使布气均匀;四周有石英罩，距样品台边缘距离20-30mm，电离电极侧进口。

（1） 极限真空为3×10-4 Pa;在真空室下方设一个气体截流阀，截流阀连续可调，控制反应室的工作气压。衬底可升降200mm，衬底旋转，转速为30～60转/分;基片加热为700±1℃; （2） 喷淋头分为三层结构，上部水冷，喷口处要求绝缘;Zn源管可拆卸，便于清洗， Zn源管与O源孔位的加工，必须使布气均匀;四周有石英罩，距样品台边缘距离20-30mm，电离电极侧进口。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
关注微信公众号造价通（zjtcn_Largedata），获取建设行业第一手资讯

热门推荐

相关阅读