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紫外线灭菌灯的发光谱线主要有254nm和185nm两条。254nm紫外线通过照射微生物的DNA来杀灭细菌，185nm紫外线可将空气中的O2变成O3(臭氧)，臭氧具有强氧化作用，可有效地杀灭细菌，臭氧的弥散性恰好可弥补紫外线只沿直线传播、消毒有死角的缺点。
炼制石英玻璃时添加足够量的钛元素，可使透过的紫外线在200nm以下发生截止，而对254nm紫外线透过无影响，适当控制钛元素的添加量，就可有效地控制185nm紫外线的逸出量，根据这一特性，可制作低臭氧、臭氧及高臭氧三种紫外线灭菌灯管。
