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采用射频磁控溅射随后退火或衬底原位加热制备纳米米晶及稀土掺杂纳米晶碳化硅薄膜，研究生长机理、纳米尺度、微结构和界面效应、掺杂种类和密度影响光发射和场发射的规律，通过改变以上条件，消除光发射温度猝灭效应，提高蓝光发射效率；调整电子亲和势，使其具有低阈值、强场发射特性，为发光器件、激光器件和平板显示开拓全新的半导体材料。.
