材料现代表面技术与工程是材料科学与工程发展的一个新兴领域。从20世纪60年代至80年代期间，等离子体、电子束、激光束、离子束、微波、超音速火焰、超音速等离子体、超高真空等先进科学技术的成果被逐步应用到材料表面技术与工程后，使表面技术有了质的飞跃，因而在上世纪80年代被列入世界10项关键技术之一的先进技术。表面技术获得极为迅速广泛的发展，沉积的薄膜和制备的涂层在相当大的程度和应用范围内把材料表面改造成具有人们期望的各种优异功能，其应用涉及机械、冶金、石化、能源、交通、环保、航空航天、核能、兵器等工业和微电子、光电子、计算机、通讯、光学、磁学、声学、半导体等领域；成为快速发展的现代表面工程技术。其产品不断推陈出新、更新换代影响着众多领域，特别是高新技术领域的发展；如上世纪70年代离子注入技术应用于半导体材料表面改性，引发了电子工业革命性的发展，使半导体器件从单个晶体管加工发展到平面集成电路加工；到90年代，包括有现代表面技术所组成的微细加工技术．已经不限于用在超大规模的集成电路核心加工工艺上，进而应用于微机电系统(MEMS)的制造，把技术推进到微纳米加工水平，成为当今微纳米研究与产业化不可缺少的重要工艺手段。