当今国内外表面技术的发展和实际应用，应把各类表面技术作为一个系统工程进行优化设计和优化组合。

表面复合镀膜处理从技术上看，这种优化组合在很大程度上就是一种“表面复合处理”技术。在强束流的金属离子注人技术不理想的条件下，运用镀膜与离子注人的复合，即离子反冲注人技术; 先用离子束辅助涂覆(IAC)，再用轻离子的离子束轰击涂层表面，使徐层元素部分混人基体。

因轰击中的离子和涂层中的金属原子间的化学反应，使涂层部分地或全部地转变成氮化物或氧化物，使涂层性能得到提高; 用离子辅助沉积(AD) 在钢、镍、碳纤维增强铝合金及Si₃Al 上沉积Si₃N₄ 梯度薄膜。目前已沉积出一侧具有热、电绝缘性能，而另一侧具有导电、导热性能的薄膜材料。用激光、电子束与气相沉积技术复合，如在Al上沉积的Ti或Al粒子，在通入N₂或O₂的同时，用CO₂激光照射，可在AI 表面上形成高硬度的TIN或Al₂O₃，使AI 的耐磨性能提高103~ 10倍。