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镀膜机技术指标

2022/07/16273 作者:佚名
导读:极限真空:8.0×10-5Pa, 基片台尺寸Φ200mm 可镀空间Φ300mm×H300mm 可镀空间Φ500mm×H600mm。

极限真空:8.0×10-5Pa, 基片台尺寸Φ200mm 可镀空间Φ300mm×H300mm 可镀空间Φ500mm×H600mm。

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