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隧穿电流MIS的隧穿电流

2022/07/16141 作者:佚名
导读:对于半导体异质结或者MIS的界面势垒,在加有较高的电压时,势垒中的电场很强,则这时电子隧穿的界面势垒可近似为三角形势垒(见图2),并且该隧穿三角形势垒的宽度与外加电压有关(即与电场E有关);这种隧穿称为Fowler-Nordheim隧穿,相应的电流为 j = -q n vth T(三角形) = C1 E2 exp(C2/E) 其中的常数C1=9.625×10,C2=2.765×10V/cm。 特别

图2,MIS的隧道效应 对于半导体异质结或者MIS的界面势垒,在加有较高的电压时,势垒中的电场很强,则这时电子隧穿的界面势垒可近似为三角形势垒(见图2),并且该隧穿三角形势垒的宽度与外加电压有关(即与电场E有关);这种隧穿称为Fowler-Nordheim隧穿,相应的电流为

j = -q n vth T(三角形) = C1 E2 exp(C2/E)

其中的常数C1=9.625×10,C2=2.765×10V/cm。

特别,对于MOS系统,电子从Si隧穿二氧化硅的势垒可近似为斜顶梯形的势垒,这种隧穿往往称为直接隧穿。

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