集成电路制造工艺员:中级目录
2022/07/16156
作者:佚名
导读:第1单元绪论 1.1集成电路产业发展的历史 1.2我国集成电路产业发展的历史和现状 思考题 第2单元半导位基础知识 2.1半导体物理基础知识 2.2晶体管原理 思考题 第3单元集成电路制造工艺 3.1半导体衬底制备 3.2氧化工艺 3.3光刻工艺 3.4掺杂工艺 3.5淀积和刻蚀 3.6多层金属化 3.7工艺集成 思考题 第4单元集成电路制造朝关设备及操作入门 4.1集成电路制造环境和安全生产 4
第1单元绪论
1.1集成电路产业发展的历史
1.2我国集成电路产业发展的历史和现状
思考题
第2单元半导位基础知识
2.1半导体物理基础知识
2.2晶体管原理
思考题
第3单元集成电路制造工艺
3.1半导体衬底制备
3.2氧化工艺
3.3光刻工艺
3.4掺杂工艺
3.5淀积和刻蚀
3.6多层金属化
3.7工艺集成
思考题
第4单元集成电路制造朝关设备及操作入门
4.1集成电路制造环境和安全生产
4.2氧化工艺设备及操作入门
4.3光刻工艺设备及操作入门
4.4掺杂工艺设备及操作入门
4.5淀积与刻蚀工艺设备及操作入门
4.6金属化工艺设备及操作入门
思考题
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