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集成电路制造工艺员:中级目录

2022/07/16156 作者:佚名
导读:第1单元绪论 1.1集成电路产业发展的历史 1.2我国集成电路产业发展的历史和现状 思考题 第2单元半导位基础知识 2.1半导体物理基础知识 2.2晶体管原理 思考题 第3单元集成电路制造工艺 3.1半导体衬底制备 3.2氧化工艺 3.3光刻工艺 3.4掺杂工艺 3.5淀积和刻蚀 3.6多层金属化 3.7工艺集成 思考题 第4单元集成电路制造朝关设备及操作入门 4.1集成电路制造环境和安全生产 4

第1单元绪论

1.1集成电路产业发展的历史

1.2我国集成电路产业发展的历史和现状

思考题

第2单元半导位基础知识

2.1半导体物理基础知识

2.2晶体管原理

思考题

第3单元集成电路制造工艺

3.1半导体衬底制备

3.2氧化工艺

3.3光刻工艺

3.4掺杂工艺

3.5淀积和刻蚀

3.6多层金属化

3.7工艺集成

思考题

第4单元集成电路制造朝关设备及操作入门

4.1集成电路制造环境和安全生产

4.2氧化工艺设备及操作入门

4.3光刻工艺设备及操作入门

4.4掺杂工艺设备及操作入门

4.5淀积与刻蚀工艺设备及操作入门

4.6金属化工艺设备及操作入门

思考题

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