集成电路芯片制造工艺技术图书目录
2022/07/16165
作者：佚名
导读：第1章 集成电路芯片制造工艺概述 第2章 氧化技术 第3章 扩散技术 第4章 光刻技术 第5章 刻蚀 第6章 离子注入 第7章 化学气相淀积 第8章 金属化 第9章 表面钝化 第10章 电学隔离技术 第11章 集成电路制造工艺流程 第12章 缺陷控制 第13章 真空与设备 附录一芯片制造材料 思考题 附录二Fab厂常用术语的中英文 对照 参考文献
第1章 集成电路芯片制造工艺概述
第2章 氧化技术
第3章 扩散技术
第4章 光刻技术
第5章 刻蚀
第6章 离子注入
第7章 化学气相淀积
第8章 金属化
第9章 表面钝化
第10章 电学隔离技术
第11章 集成电路制造工艺流程
第12章 缺陷控制
第13章 真空与设备
附录一芯片制造材料
思考题
附录二Fab厂常用术语的中英文
对照
参考文献
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