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建设工程知识

等离子刻蚀机影响因素

2022/07/16122 作者：佚名
导读：–气压（Pressure）。 –温度（Temperature）提高温度会提高刻蚀率。 –Micro-loading –刻蚀后腐蚀（Post-etch corrosion）。 –残留物（residual）。

刻蚀率

–气压（Pressure）。

–温度（Temperature）提高温度会提高刻蚀率。

–Micro-loading

–刻蚀后腐蚀（Post-etch corrosion）。

残留物 –残留物（residual）。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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