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俄歇电子具有特征性能量,其能量与释放俄歇电子的原子中的电子转移有关。俄歇电子的释放是释放特征性x射线的替代形式。俄歇电子的能量EA可由下面式子得出:
EA=E1-E2-E3,
其中,E1为具有内壳层空位的原子能量,E2为具有外壳层空缺的原子能量,E3为(俄歇)电子的结合能。