最早的OMR是利用纸带和打孔卡，具有真正的孔，利用透过纸张的光来阅读数据。
1930年代，第一个类似OMR的设备，IBM 805计分器出现，它是透过利用金属刷子测试纸上的铅笔记号的导电率来测试数据。至于第一个真正的OMR设备，在1950年代出现。同时间，IBM也研发出类似的设备。1962年，IBM推出了IBM 1230光学计分器。在这个时候，类似的设备如雨后春笋般出现。到了1972年，提供廉价光学辨识设备的扫描子（Scantron）公司等公司成立，加速了OMR的普及，甚至连光学辨识纸也被称为扫描子纸。
现在，OMR设备广泛应用于点算系统、计分、资料收集等用途。
