随着中国科技水平的进步，制造业的持续发展，生活水平也得到不断地改善，物质生活和精神生活都有大幅的提升。然而近年来雾霾、水污染等的加重给日益改善的生活水平增添了瑕疵，空气和水等携带的细菌正在侵蚀我们的健康。为了保护自身的健康，各种消毒杀菌装置孕育而生，如空气净化器，水处理器。而这些杀菌装置的最主要杀菌功能部件为紫外灯，截至2017年5月，比较热门的是采用深紫外LED灯。紫外LED杀菌的原理是利用LED产生的适当波长紫外线对细菌的脱氧核糖核酸（DNA）和核糖核酸（RNA）的分子键进行破坏，破坏原有细菌菌落并阻止细菌的复制繁殖，达到杀死细菌的目的。紫外杀菌技术利用高强度深紫外线照射，能够将各种细菌、病毒、寄生虫、水藻以及其他病原体直接杀死，被广泛应用于民生、医疗以及生产制造行业。因深紫外LED的杀菌功能，截至2017年5月，该领域对深紫外LED的研究也趋于热门。

深紫外LED主要采用AlGaN作为主要生长材料，利用CVD外延生长方法生长出所需要的发光结构。图1为2017年5月以前的技术中的紫外AlGaNLED外延结构，如图1所示，该结构包含缓冲层101，非掺杂AltGa1-tN层102，N型掺杂AluGa1-uN层103，AlxGa1-xNAl量子阱层104、AlyGa1-yNAl量子垒层105，AlzGa1-zN电子阻挡层106，P型掺杂AlvGa1-vN层107以及P型掺杂GaN层108。虽然，紫外深紫外铝镓氮AlGaNLED应用广泛。但是，AlGaNLED还存在应用上的一些难题。1、发光效率低，截至2017年5月，15x15密位的芯片在20毫安驱动电流下发光亮度约2兆瓦，发光效率低导致杀菌效率也偏低；2、AlGaN量子阱中因无法形成AlGaN量子点，导致电子空穴复合几率非常低。