建设工程知识

准直透镜准直透镜质量要求

简单介绍菲佐干涉仪对准直透镜的质量要求，通常关心的是判定空气隙厚度的变化。但是光程差不仅是空气隙厚度的函数，也是光照射角的函数，在特定点上的光程差为

被检平面缺陷使空气隙厚度

发生变化，而

则随光源尺寸和准直透镜的像差发生变化。

对使用一般光源的菲佐干涉仪来说，最大有效空气隙厚度为50mm，而且还必须考虑光源尺寸和透镜的像差。光源尺寸主要影响菲佐条纹的可见度。要得到对比度很好的菲佐条纹，剩余光程差

应小于

，并且选择针孔也要满足这个条件。针孔对整个菲佐条纹区域内的影响是均匀相同的，而准直透镜的像差对条纹区域的影响却不一致，所以，必须要考虑透镜的角像差及其影响。如果透镜的最大角像差为

，那么

应小于

，其中k是小数，其值取决于仪器要求的精度。因此设k=0.001，那么

为

。对一般光源，取t=50mm的最大值，则

这个角像差相当大，在20''量级范围，因此可以设计合适的透镜或反射系统来满足 。

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